①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；
②将抛光后的反应物、碎屑等顺利排出；
③维持抛光垫表面的抛光液薄膜,以便化学反应充分进行；
④保持抛光过程的平稳、表面不变形,以便获得较好的晶片表面形貌。
抛光液是抛光过程中的一种辅助物料，使用抛光液会使得抛光效果更好，物件更加光亮。
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研磨机常用的研磨盘有铜盘，锡盘，不锈钢盘，铁盘，树脂盘。每种材料的研磨盘应用的工件类型也有所差别。铜盘主要功能是精磨，多用于蓝宝石等工件的精磨；锡盘也是侧重精磨，不过是用于精磨陶瓷产品；不锈钢盘一般用于金属产品的精磨；铁盘的功能就侧重于粗磨，主要是对铁、合金钢产品进行粗磨；树脂盘一般用于塑胶、模具等工件的粗磨。